As semiconduttoree le tecnologie microelettroniche si sviluppano verso prestazioni più elevate e una maggiore integrazione, vengono imposti requisiti più elevati alla purezza dei gas speciali elettronici. La tecnologia delle tubazioni del gas ad elevata purezza è una parte importante del sistema di fornitura di gas ad elevata purezza. È la tecnologia chiave per fornire gas ad elevata purezza che soddisfano i requisiti ai punti di utilizzo del gas pur mantenendo una qualità qualificata.
La tecnologia delle tubazioni ad alta purezza comprende la corretta progettazione del sistema, la selezione dei raccordi e dei materiali ausiliari, la costruzione, l'installazione e il collaudo.
01Concetto generale delle tubazioni per il trasporto del gas
Tutti i gas ad elevata purezza e pulizia devono essere trasportati al punto terminale del gas tramite gasdotti. Per soddisfare i requisiti di qualità del processo per il gas, quando l'indice di esportazione del gas è certo, è necessario prestare maggiore attenzione alla selezione dei materiali e alla qualità costruttiva del sistema di tubazioni. Oltre alla precisione delle apparecchiature di produzione o purificazione del gas, essa è largamente influenzata da molti fattori del sistema di condutture. Pertanto, la selezione dei tubi deve rispettare i principi pertinenti del settore della purificazione e indicare il materiale dei tubi nei disegni.
02L'importanza delle condotte ad elevata purezza nel trasporto del gas
L'importanza delle condotte ad elevata purezza nel trasporto di gas ad elevata purezza Durante il processo di fusione dell'acciaio inossidabile, ogni tonnellata può assorbire circa 200 g di gas. Dopo la lavorazione dell'acciaio inossidabile, sulla sua superficie non solo rimangono attaccate diverse sostanze inquinanti, ma anche una certa quantità di gas viene assorbita nel suo reticolo metallico. Quando il flusso d'aria passa attraverso la tubazione, la parte del gas assorbita dal metallo rientrerà nel flusso d'aria e inquinerà il gas puro.
Quando il flusso d'aria nel tubo è discontinuo, il tubo forma un assorbimento di pressione sul gas che lo attraversa. Quando il flusso d'aria smette di passare, il gas adsorbito dal tubo forma un'analisi di riduzione della pressione e il gas analizzato entra anche nel gas puro nel tubo come impurità.
Allo stesso tempo, il ciclo di adsorbimento e analisi farà sì che il metallo sulla superficie interna del tubo produca una certa quantità di polvere. Questa particella di polvere metallica inquina anche il gas puro nel tubo. Questa caratteristica della pipa è molto importante. Per garantire la purezza del gas trasportato è necessario non solo che la superficie interna del tubo abbia un'altissima levigatezza, ma anche che abbia un'elevata resistenza all'usura.
Quando il gas ha forti proprietà corrosive, è necessario utilizzare tubi in acciaio inossidabile resistenti alla corrosione per le tubazioni. Altrimenti, sulla superficie interna del tubo appariranno macchie di corrosione a causa della corrosione. Nei casi più gravi, grandi pezzi di metallo si staccano o addirittura si perforano, contaminando così il gas puro trasportato.
03Materiale del tubo
La scelta del materiale del tubo deve essere scelta in base alle esigenze di utilizzo. La qualità del tubo viene generalmente misurata in base alla rugosità della superficie interna del tubo. Minore è la rugosità, minore è la probabilità che trasporti particelle. Generalmente divisi in tre tipologie:
Uno lo èTubo 316L di grado EP, che è stato lucidato elettroliticamente (Electro-Polish). È resistente alla corrosione e ha una bassa rugosità superficiale. Rmax (altezza massima dal picco alla valle) è di circa 0,3 μm o meno. Ha la massima planarità e non è facile formare micro-correnti parassite. Rimuovere le particelle contaminate. Il gas di reazione utilizzato nel processo dovrebbe essere convogliato a questo livello.
Uno è aGrado BA 316Ltubo, che è stato trattato da Bright Anneal e viene spesso utilizzato per i gas che sono in contatto con il chip ma non partecipano alla reazione del processo, come GN2 e CDA. Uno è il tubo AP (Annealing & Picking), che non è trattato in modo speciale e viene generalmente utilizzato per doppi set di tubi esterni che non vengono utilizzati come linee di alimentazione del gas.
04 Costruzione di condotte
La lavorazione dell'imboccatura della pipa è uno dei punti chiave di questa tecnologia costruttiva. Il taglio e la prefabbricazione della tubazione vengono eseguiti in un ambiente pulito e, allo stesso tempo, si garantisce che non vi siano segni dannosi o danni sulla superficie della tubazione prima del taglio. I preparativi per il lavaggio con azoto nella tubazione devono essere effettuati prima dell'apertura della tubazione. In linea di principio, la saldatura viene utilizzata per collegare le condotte di trasmissione e distribuzione del gas ad elevata purezza e pulizia con un flusso elevato, ma la saldatura diretta non è consentita. È necessario utilizzare giunti dell'involucro e il materiale del tubo utilizzato non deve subire modifiche strutturali durante la saldatura. Se si salda un materiale con un contenuto di carbonio troppo elevato, la permeabilità all'aria della parte saldata farà penetrare il gas all'interno e all'esterno del tubo, distruggendo la purezza, la secchezza e la pulizia del gas di trasporto, con conseguenze gravi e influiscono sulla qualità della produzione.
In sintesi, per gas di elevata purezza e condotte speciali per il trasporto di gas, è necessario utilizzare un tubo in acciaio inossidabile di elevata purezza trattato in modo speciale, in modo che il sistema di tubazioni di elevata purezza (comprese tubazioni, raccordi, valvole, VMB, VMP) occupi un posto missione vitale nella distribuzione del gas ad elevata purezza.
Orario di pubblicazione: 26 novembre 2024