As semiconduttoree le tecnologie microelettroniche si evolvono verso prestazioni più elevate e una maggiore integrazione, vengono richiesti requisiti più elevati alla purezza dei gas elettronici speciali. La tecnologia delle tubazioni per gas ad alta purezza è una parte importante del sistema di fornitura di gas ad alta purezza. È la tecnologia chiave per fornire gas ad alta purezza che soddisfano i requisiti ai punti di utilizzo del gas, mantenendo al contempo una qualità qualificata.
La tecnologia delle tubazioni ad alta purezza comprende la corretta progettazione del sistema, la selezione dei raccordi e dei materiali ausiliari, la costruzione, l'installazione e il collaudo.
01Concetto generale di tubazione di trasmissione del gas
Tutti i gas ad elevata purezza e purezza devono essere trasportati al punto di arrivo del gas tramite condotte. Per soddisfare i requisiti di qualità del processo per il gas, quando l'indice di esportazione del gas è certo, è necessario prestare maggiore attenzione alla selezione dei materiali e alla qualità costruttiva del sistema di tubazioni. Oltre alla precisione delle apparecchiature di produzione o purificazione del gas, questa è ampiamente influenzata da molti fattori del sistema di tubazioni. Pertanto, la selezione delle tubazioni deve rispettare i principi del settore della purificazione e indicare il materiale delle tubazioni nei disegni.
02L'importanza delle condotte ad alta purezza nel trasporto del gas
L'importanza delle condotte ad alta purezza nel trasporto di gas ad alta purezza. Durante il processo di fusione dell'acciaio inossidabile, ogni tonnellata può assorbire circa 200 g di gas. Dopo la lavorazione dell'acciaio inossidabile, non solo vari inquinanti rimangono attaccati alla sua superficie, ma anche una certa quantità di gas viene assorbita nel suo reticolo metallico. Quando il flusso d'aria attraversa la condotta, la parte di gas assorbita dal metallo rientra nel flusso d'aria e inquina il gas puro.
Quando il flusso d'aria nel tubo è discontinuo, il tubo forma un assorbimento di pressione sul gas che lo attraversa. Quando il flusso d'aria si interrompe, il gas adsorbito dal tubo forma un'analisi di riduzione della pressione e il gas analizzato entra anche nel gas puro nel tubo come impurità.
Allo stesso tempo, il ciclo di adsorbimento e analisi farà sì che il metallo sulla superficie interna del tubo produca una certa quantità di polvere. Queste particelle di polvere metallica inquinano anche il gas puro nel tubo. Questa caratteristica del tubo è molto importante. Per garantire la purezza del gas trasportato, non solo è necessario che la superficie interna del tubo abbia un'estrema levigatezza, ma anche un'elevata resistenza all'usura.
Quando il gas ha forti proprietà corrosive, è necessario utilizzare tubi in acciaio inossidabile resistenti alla corrosione. In caso contrario, si formeranno macchie di corrosione sulla superficie interna del tubo. Nei casi più gravi, grandi pezzi di metallo si staccheranno o addirittura si perforano, contaminando così il gas puro trasportato.
03Materiale del tubo
La scelta del materiale del tubo deve essere effettuata in base alle esigenze di utilizzo. La qualità del tubo viene generalmente misurata in base alla rugosità della superficie interna. Minore è la rugosità, minore è la probabilità che il tubo trasmetta particelle. Generalmente si dividono in tre tipologie:
Uno èTubo EP grado 316L, lucidato elettroliticamente (Electro-Polish). È resistente alla corrosione e presenta una bassa rugosità superficiale. Rmax (altezza massima tra picco e valle) è di circa 0,3 μm o inferiore. Presenta la massima planarità e non è facile che si formino microcorrenti parassite. Rimuovere le particelle contaminate. Il gas di reazione utilizzato nel processo deve essere convogliato a questo livello.
Uno è unGrado BA 316Ltubi, trattati con Bright Anneal e spesso utilizzati per gas a contatto con il truciolo ma che non partecipano alla reazione di processo, come GN2 e CDA. Un altro tipo di tubi è il tubo AP (Annealing & Picking), che non subisce un trattamento speciale ed è generalmente utilizzato per doppie serie di tubi esterni non utilizzati come linee di alimentazione del gas.
04 Costruzione di condotte
La lavorazione dell'imboccatura del tubo è uno dei punti chiave di questa tecnologia costruttiva. Il taglio e la prefabbricazione della condotta vengono eseguiti in un ambiente pulito e, allo stesso tempo, si garantisce che non vi siano segni o danni dannosi sulla superficie della condotta prima del taglio. I preparativi per il lavaggio con azoto nella condotta devono essere effettuati prima dell'apertura della stessa. In linea di principio, la saldatura viene utilizzata per collegare le condotte di trasporto e distribuzione del gas ad alta purezza e purezza con grandi portate, ma la saldatura diretta non è consentita. È necessario utilizzare giunti di rivestimento e il materiale del tubo utilizzato deve rimanere inalterato durante la saldatura. Se si salda un materiale con un contenuto di carbonio troppo elevato, la permeabilità all'aria della parte saldata causerà la penetrazione reciproca del gas all'interno e all'esterno del tubo, compromettendo la purezza, la secchezza e la pulizia del gas trasportato, con gravi conseguenze e un impatto sulla qualità della produzione.
In sintesi, per i gasdotti ad alta purezza e per i gasdotti speciali, è necessario utilizzare tubi in acciaio inossidabile ad alta purezza trattati in modo speciale, il che rende il sistema di condotte ad alta purezza (inclusi gasdotti, raccordi, valvole, VMB, VMP) una missione fondamentale nella distribuzione di gas ad alta purezza.
Data di pubblicazione: 26-11-2024