1. Definizione del sistema di gas alla rinfusa:
Stoccaggio e controllo della pressione dei gas inerti Tipi di gas: Gas inerti tipici (azoto, argon, aria compressa, ecc.)
Dimensioni della conduttura: da 1/4 (conduttura di monitoraggio) a conduttura principale da 12 pollici
I prodotti principali del sistema sono: valvola a membrana/valvola a soffietto/valvola a sfera, connettore ad alta purezza (VCR, forma di saldatura), connettore a ghiera, valvola di regolazione della pressione, manometro, ecc.
Attualmente, il nuovo sistema comprende anche un sistema di gas speciale alla rinfusa, che utilizza bombole di gas fisse o autocisterne per lo stoccaggio e il trasporto.
2. Definizione del sistema di purificazione:
Rimozione delle impurità dai gas sfusi per gasdotti ad alta purezza
3. Definizione di armadi a gas:
Fornire controllo della pressione e monitoraggio del flusso per fonti di gas speciali (gas tossici, infiammabili, reattivi, corrosivi) e avere la capacità di sostituire le bombole di gas.
Ubicazione: situato al piano interrato o al piano inferiore per lo stoccaggio di gas speciali. Fonte: NF3, SF6, WF6, ecc.
Dimensioni della conduttura: conduttura del gas interna, generalmente da 1/4 di pollice per la conduttura di processo, da 1/4 a 3/8 di pollice principalmente per la conduttura di spurgo dell'azoto ad alta purezza.
Prodotti principali: valvole a membrana ad alta purezza, valvole di ritegno, manometri, connettori ad alta purezza (VCR, a saldare). Queste cabine per gas contengono fondamentalmente funzionalità di commutazione automatica per le bombole, per garantire un'erogazione di gas continua e una sostituzione sicura delle bombole.
4. Definizione di distribuzione:
Collegamento della sorgente di gas alla serpentina di raccolta del gas
Dimensioni della linea: nella fabbrica di chip, le dimensioni della tubazione di distribuzione del gas sfuso variano generalmente da 1/2 pollice a 2 pollici.
Forma di collegamento: le condotte del gas speciali sono generalmente collegate tramite saldatura, senza alcuna connessione meccanica o altre parti mobili, principalmente perché la giunzione saldata ha una forte affidabilità di tenuta.
In una fabbrica di chip, ci sono centinaia di chilometri di tubi collegati al gas di trasmissione, lunghi circa 6 metri e saldati tra loro. Anche alcune curve e saldature tubolari sono molto comuni.
5. Definizione di scatola valvole multifunzione (Valve Manifold Box, VMB):
Serve a distribuire gas speciali dalla fonte di gas alle diverse estremità delle apparecchiature.
Dimensioni interne della tubazione: tubazione di processo da 1/4 di pollice e tubazione di spurgo da 1/4 a 3/8 di pollice. Il sistema può utilizzare il controllo computerizzato per richiedere valvole attuate o soluzioni a basso costo con valvole manuali.
Prodotti di sistema: valvole a membrana/valvole a soffietto ad alta purezza, valvole di ritegno, giunti ad alta purezza (VCR, microformati), valvole di regolazione della pressione, manometri e manometri, ecc. Per la distribuzione di alcuni gas inerti, viene utilizzato principalmente il pannello collettore valvole - VMP (disco valvola multifunzione), che ha una superficie del disco del gas aperta e non richiede una progettazione a spazio chiuso e uno spurgo di azoto aggiuntivo.
6. Definizione della piastra/scatola della valvola secondaria (pannello di collegamento degli utensili):
Collegare il gas richiesto dall'apparecchiatura a semiconduttore dalla sorgente di gas al lato apparecchiatura e fornire la corrispondente regolazione della pressione. Questo pannello è un sistema di controllo del gas più vicino al lato apparecchiatura rispetto al VMB (pozzetto valvole multifunzione).
Dimensioni della conduttura del gas: 1/4 - 3/8 pollici
Dimensioni della tubazione del liquido: 1/2 - 1 pollice
Dimensioni della tubazione di scarico: 1/2 - 1 pollice
Prodotti principali: valvola a membrana/valvola a soffietto, valvola unidirezionale, valvola di regolazione della pressione, manometro, giunto ad alta purezza (VCR, microsaldatura), giunto a ghiera, valvola a sfera, tubo flessibile, ecc.
Data di pubblicazione: 22 novembre 2024