1. Definizione del sistema di gas sfuso:
Stoccaggio e controllo della pressione di gas inerti Tipi di gas: gas inerti tipici (azoto, argon, aria compressa, ecc.)
Dimensioni della conduttura: da 1/4 (conduttura di monitoraggio) a conduttura principale da 12 pollici
I prodotti principali del sistema sono: valvola a membrana/valvola a soffietto/valvola a sfera, connettore ad alta purezza (VCR, forma di saldatura), connettore a ghiera, valvola di regolazione della pressione, manometro, ecc.
Attualmente, il nuovo sistema comprende anche un sistema speciale per il gas sfuso, che utilizza bombole di gas fisse o autocisterne per lo stoccaggio e il trasporto.
2. Definizione del sistema di purificazione:
Rimozione delle impurità dai gas sfusi per gasdotti ad elevata purezza
3. Definizione di armadi a gas:
Fornire il controllo della pressione e il monitoraggio del flusso per fonti di gas speciali (gas tossici, infiammabili, reattivi, corrosivi) e avere la possibilità di sostituire le bombole di gas.
Ubicazione: Situato al piano del sottofabbricato o al piano inferiore per lo stoccaggio di gas speciali Sorgente: NF3, SF6, WF6, ecc.
Dimensioni della tubazione: gasdotto interno, generalmente 1/4 di pollice per tubazioni di processo, 1/4-3/8 di pollice principalmente per tubazioni di spurgo di azoto ad elevata purezza.
Prodotti principali: valvole a membrana ad alta purezza, valvole di ritegno, manometri, manometri, connettori ad alta purezza (VCR, forma di saldatura) Questi armadi per gas contengono fondamentalmente funzionalità di commutazione automatica per le bombole per garantire la fornitura continua di gas e la sostituzione sicura delle bombole.
4. Definizione di distribuzione:
Collegamento della sorgente gas alla serpentina di raccolta gas
Dimensioni della linea: nella fabbrica di chip, la dimensione della tubazione di distribuzione del gas sfuso varia generalmente da 1/2 pollice a 2 pollici.
Forma di connessione: i gasdotti speciali sono generalmente collegati mediante saldatura, senza alcuna connessione meccanica o altre parti mobili, principalmente perché la connessione di saldatura ha una forte affidabilità di tenuta.
In una fabbrica di chip ci sono centinaia di chilometri di tubi collegati per la trasmissione del gas, che sono fondamentalmente lunghi circa 20 piedi e saldati insieme. Molto comuni sono anche alcune curve di tubi e collegamenti di saldatura tubolari.
5. Pozzetto per valvole multifunzione (Valve Manifold Box, VMB) Definizione:
Serve per distribuire gas speciali dalla fonte di gas alle diverse estremità dell'apparecchiatura.
Dimensioni della tubazione interna: tubazione di processo da 1/4 di pollice e tubazione di spurgo da 1/4 - 3/8 di pollice. Il sistema può utilizzare il controllo computerizzato per richiedere valvole attuate o situazioni a basso costo con valvole manuali.
Prodotti del sistema: valvole a membrana/valvole a soffietto ad alta purezza, valvole di ritegno, giunti ad alta purezza (VCR, forma di microsaldatura), valvole di regolazione della pressione, manometri e manometri, ecc. Per la distribuzione di alcuni gas inerti, il pannello del collettore di valvole - Viene utilizzato principalmente il VMP (disco della valvola multifunzione), che ha una superficie del disco del gas aperta e non richiede una progettazione dello spazio chiuso e uno spurgo aggiuntivo di azoto.
6. Piastra/scatola della valvola secondaria (pannello di collegamento degli strumenti) Definizione:
Collegare il gas richiesto dall'apparecchiatura a semiconduttore dalla fonte del gas all'estremità dell'apparecchiatura e provvedere alla corrispondente regolazione della pressione. Questo pannello è un sistema di controllo del gas più vicino all'estremità dell'apparecchiatura rispetto al VMB (pozzetto con valvole multifunzione).
Dimensioni del gasdotto: 1/4 - 3/8 pollici
Dimensioni della tubazione del liquido: 1/2 - 1 pollice
Dimensioni della tubazione di scarico: 1/2 - 1 pollice
Prodotti principali: valvola a membrana/valvola a soffietto, valvola unidirezionale, valvola di regolazione della pressione, manometro, manometro, giunto ad alta purezza (VCR, microsaldatura), giunto a ghiera, valvola a sfera, tubo flessibile, ecc.
Orario di pubblicazione: 22 novembre 2024